1. Bộ môn Công nghệ Quang tử

2. Bộ môn Vật liệu và linh kiện bán dẫn nano

3. Bộ môn Vật liệu và linh kiện từ tính nano

4. Bộ môn Kỹ thuật Năng lượng

5. Bộ môn Công nghệ Micro và Nano